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王曦 |
| 南通中學1983屆校友，1987年畢業于清華大學工程物理系，1990年、1993年分別獲中科院上海冶金所（現上海微系統所）碩士、博士學位。1993年－1994年任上海微系統所助理研究員，其中1993年7月－1994年5月赴澳大利亞訪問學者。1994年－2004年曆任上海微系統所副研究員、室副主任、研究員、室主任、所長助理，其中1996年5月－1998年6月赴德國訪問學者。2004年4月至今，曆任上海微系統所黨委副書記兼副所長、黨委書記兼副所長、黨委書記兼常務副所長、所長。2008年8月起任國家中長期科技發展規劃“極大規模集成電路制造技術及成套工藝”科技重大專項技術副總師。2009年12月當選中國科學院院士。 |  |
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| 2010年7月起任信息功能材料國家重點實驗室主任。2010年8月當選爲第十一屆全國青年聯合會副主席，擔任科學技術界別工作委員會主任委員。中共十八大代表。2013年9月受聘爲上海市決策咨詢委員會委員。2017年5月2日，任中國科學院上海高等研究院院長。長期致力于載能離子束與固體相互作用物理現象研究，並應用于高端集成電路襯底材料的開發，在國際學術期刊及學術會議上發表論文近400篇，申請發明專利160余項，其中國際專利27項。擔任“離子束材料改性國際會議”國際咨詢委員會委員（中國唯一的國際委員），牽頭承擔國家科技重大專項等項目，領銜國家自然科學基金委創新研究群體，擔任集成電路材料産業技術創新戰略聯盟理事長。曾獲國家科技進步一等獎1項（第一完成人）、何梁何利基金科學與技術進步獎、中國科學院傑出科技成就獎（第一完成人）、上海市科技進步一等獎（第一完成人）等獎項以及上海市領軍人才、中國科學院傑出青年等榮譽稱號。 | ||
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